FUJI富士工業(yè) CMP化學(xué)藥液專用單組分濃度計(jì) FUD-1 Model-13

FUJI富士工業(yè) CMP化學(xué)藥液專用單組分濃度計(jì) FUD-1 Model-13

單組分濃度計(jì)特點(diǎn)
可實(shí)時(shí)測(cè)量濃度，濃度管理系統(tǒng)構(gòu)建簡單。模擬DC4-20mA和數(shù)字RS232C是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
標(biāo)準(zhǔn)配備測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出
標(biāo)準(zhǔn)配備自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示
小型、輕量的單元型發(fā)射器可以直接安裝在生產(chǎn)線上。
接液部件材質(zhì)采用PFA，小產(chǎn)量設(shè)計(jì)對(duì)化學(xué)溶液無影響。

優(yōu)點(diǎn)
可實(shí)現(xiàn)高精度連續(xù)測(cè)量
免維護(hù)，無需定期調(diào)整或校準(zhǔn)
安裝方便，安裝過程中無需進(jìn)行各種調(diào)整
通過實(shí)時(shí)輸出輕松反饋流程

目的

• CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度管理等

• 稀釋過程中各種化學(xué)品濃度控制（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）

• 清洗過程中清洗液濃度控制等（HF、NH4OH、KOH、IPA等）

• 蝕刻過程中蝕刻液濃度控制（HF、H2SO4等）

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